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第274章 分子级别超纯水（第3页）

一般来说，浸入式光刻机有三种技术路线：

第一种是喷淋法，顾名思义就是把水喷到晶圆上然后再迅速带走，常见的喷淋法工艺是在镜头的一侧设置一个超精密喷嘴，随着镜头加工运动把水喷到镜头下方，然后从镜头的另一侧把水吸走。

这个方法对超精密加工能力和计算机控制能力要求极高，在镜头下方的工作区稳定的建立起那层超薄水膜不比生产光刻机简单到哪去，如果精密加工和精密控制的能力不行，会导致晶圆边缘的曝光很差，严重影响晶圆生产线的良品率。

不过喷淋法最大的优点就是能完整的利用现有设备，可以说这套喷水和吸水的设备完全独立于晶圆生产线，只和光刻镜头联动，进行晶圆生产线技术升级时难度和改建成本都极低。

第二种叫浴缸法，这个方法和梁远刚刚说的灵感类似，就是把整片晶圆都丢在水里，装晶圆的容器→浴缸随着晶圆工作台移动。

这种方法的好处是工程上的技术难度较低，不会对晶圆生产线的良品率造成负面影响，不过缺点是要对现有的晶圆生产线做较大的改动，必须研制全新的能在水中工作的光刻胶，必须对晶圆工作台加以改进，而且由于晶圆工作台上增加了水的重量，晶圆生产线的生产节拍也会随之改变，相比喷淋法晶圆生产线的生产效率会有一定幅度的下降。

第三种叫泳池法，就是把整个光刻程序都丢进水里来完成，这种方法虽然能最大化的减少线宽，不过在水中操作相当于重新研发一套晶圆生产体系，无论工程难度还是经济成本都双双过高。

新世纪之后，浸入式光刻机的国际主流路线采用了喷淋法，不过以港基集电目前的实力来说，第二种浴缸法才是最合适的，新世纪之后尼康和艾斯摩尔之所以选了喷淋法路线，一个是两家精密加工和精密控制的水准高没门槛，另一个是国际上现存的光刻设备大部分都是这俩家卖的，当然是升级成本越低升级方式越简单越好。

九十年代初，制程工艺和芯片设计之间的分界远没有未来那般清晰，技术大佬三人组目前虽然都是以芯片设计为主业，但三人都对晶圆制程了如指掌，随便丢到那条产线上当个线长绝对是富富有余。

刘飞扬在纸上龙飞凤舞的写了大半张的算式，然后抬头用无法置信的语气对梁远说道：“大少，如果从西门子引进的设备投产，把大少这个想法放进生产线，我们直接就撵上国际先进水准了～～”

港基集电主导的共和国的火炬计划属于基础科研类，压根就没有保密一说，港基集电的财务审计是通过第三方的会计师事务所交叉审计，梁远打算采购大批的国产5微米晶圆生产线，在财务报表上根本无法隐藏。

当然，引进第三方会计师事务所虽然一定程度上不利于企业保密，但对国际交流引进技术还是很有促进作用的。

随着港基集电5微米晶圆产线的成熟量产，此时的海外电子产业界巨头已经意识到，3微米线宽对港基集电来说随时都可能获得突破，一旦港基集电自主突破了3微米的制程技术，2微米的海外制程技术很可能没有花大价钱引进的必要了。

因此这次苏良宇等人这次去西门子谈判，受到了西门子半导体极为热情的接待，和三个月之前的态度简直判若两人，甚至西门子还承诺会在欧洲电子行业内部展开游说，争取尽早把2微米制程技术撤下巴统的监控名单。

实际上，哪怕没有梁远干扰历史，在九一年的下半年巴统组织自己就开始讨论，把2微米制程技术对共和国开放绿灯的可行性。

不过那时放宽政策的背景是北极熊轰然倒塌，共和国北上挖墙脚，海外电子集团生怕共和国借用北极熊的电子产业人才快速崛起，决定放宽技术的出口标准用来影响共和国的电子产业政策。

“海外最先进的0.5微米制程还没投产，目前已经投产中最先进的生产线只有东芝、nec、摩托罗拉三家的1.0微米线，按英特尔的技术路线图0.5微米的生产线要明年第三季度才开始运行，苏总那边正在和西门子谈1.5微米的线，如果我们动作快一点，在1.5微米制程的基础上搞大少提出来的这个东西，能把制程线宽直接推进到1微米，海外的电子集团怕是得疯吧～”

九十年代，海外压制共和国电子产业的技术代差基本都是稳定保持在三代，如果按聂晓天所说直接把制程线宽搞到1.0微米，可就真的踩到老外的尾巴了，肯定得真疯，港基集电搞不好会丢在无影灯和放大镜下吊起来观察。

“这些事先另说，先搞个简单的框架出来，有什么注意事项现在就写，然后去实验室中试车间试试我说的想法。”

“就算能成也别改老外的设备，我们直接改国产的方便，5.0线宽和3.0线宽真较真可以说是两种芯片了，改海外的的线就算能改成功才多大一点产量，除了虚名没大用。”

梁远否掉了聂晓天的假设。

“我先来提吧，第一个水的纯度问题，普通水里的气泡杂质什么的肯定会严重影响良品率，我们能用的肯定是超纯水，我估计一般实验室里用的超纯水很可能还不成，得上最顶尖的那种纯度起码要六个九，不过这东西的来源还得看大少的～”

王欣所言超纯水的纯度差不多微观到了分子级别，起码得把水中的重水全都分离出去，共和国能生产这玩意的部门怕是只有核工业部一家能干。

一般来说，王欣要的那种超纯水是分离重水的副产物，这东西全球有能力生产的估计两只手就数得过来了，重水的价格在九十年代是5元每毫升，这个副产物价值多少还真没法衡量

“这个问题我来解决。”

梁远倒是雷厉风行，直接抄起电话联系人在港岛休假的宁雷。

两个中年妇女要在家里享受天际线游泳池，因此宁雷和老梁同志哪也没去，梁远第一时间就找到了人。

“小远怎么想起来给宁叔打电话了，莫非是烧的太严重被东大开除了不成～。”

宁雷笑着和梁远开玩笑，可对于梁远来说，宁雷第一句话就一语中地直接把天给聊死了。

这破事儿都简直了，虽然和两个丫头同桌的未来非常值得期待，可这事儿该怎么和家里解释梁远想想就脑壳痛。

“宁叔，我在港基集电这边开技术会议呢，如果不出意外，日后的保密级别应该是绝密。”

梁远决定暂时无视自己被打回高中的事实，先用工作把家里人应付过去。

“哦，有什么需要小远直说。”

一听是绝密，宁雷知道梁远不可能拿这种事情开玩笑，态度顿时严肃了起来。

“港基集电在搞一种能追上国际顶尖制程线宽的技术，需要分子级别的超纯水，最好是重水分离的副产物～。”

“需要多少？”

宁雷言简意赅。

“需要多少？你们三个碰一下？”

梁远转头问技术大佬三人组。

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